High-End-Reinigung bis ins kleinste Detail
In unseren hochmodernen Reinräumen bis ISO-Klasse 5 und 6 nach DIN EN ISO 14644-1 führen wir maßgeschneiderte Reinigungsdienstleistungen für verschiedenste Branchen durch. Mit spezialisierten Methoden reinigen wir sowohl einfache als auch hochkomplexe Baugruppen für eine nahezu absolute Partikelfreiheit.
Reinräume bis
ISO Klasse 5 und 6
Reinraumfläche
über 1.000 m²
Reinigung
bis zu 2,7 m x 1,8 m Bauteilgröße
Maximale Präzision durch einzigartige Reinigungsverfahren
Auf über 1.000 m² vollklimatisierter Reinraumfläche setzen wir modernste Nass- und Trockenreinigungsverfahren ein. Dazu gehören Ultraschallbäder, Heißdampfgeräte und unsere eigens entwickelten Trockenreinigungssysteme. Unser hauseigen aufbereitetes Osmosewasser sorgt für eine nahezu rückstandsfreie Reinigung.
Als strategischer Partner von ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology reinigen wir nach der Spezifikation FU1000711 Bauteile mit maximaler Qualität.
Spezialverfahren für höchste Reinheit
- Bake-Out mit anschließender Restgasanalyse (RGA) mittels Massenspektrometer bis zu 2,7 m x 1,8 m Bauteilgröße
- Vakuumtempern von Elastomeren
- Automatisierte Kühlkanalreinigung
Lückenlose Kontrolle für kompromisslose Sauberkeit
Jede Komponente durchläuft nach der Reinigung umfassende Prüfungen mit hochpräziser Messtechnik. Die kontinuierliche Überwachung der Partikelfreiheit – sowohl in der Luft als auch auf Bauteiloberflächen – sichern unsere Reinheits- und Qualitätsstandards. Unsere spezialisierten Reinheitsprüfungs- und Qualifizierungsverfahren ermöglichen eine präzise Detektion sämtlicher Partikel. Modernste Lithografiesysteme profitieren von unseren maßgeschneiderten Lösungen und präzisen Reinigungsdienstleistungen.
