Qualifizierung und Verbesserung der Vakuumeigenschaften
UHV-Analyseanlagen
Zur Optimierung und Qualifizierung der Vakuumeigenschaften verfügt PINK über ausheizbare Pumpstände. In Kombination mit Umluftöfen können UHV- bzw. XHV-Kammern bis 300 °C ausgeheizt werden. Vor allem bei höheren Ausheiztemperaturen lassen sich dadurch die Desorptionsraten deutlich verbessern.
Zu den möglichen vakuumtechnischen Qualifizierungen gehören die Bestimmung des Enddrucks, die Restgasanalyse, die Messung der Desorptionsrate, sowie ein He-Integrallecktest.
Hochmoderner Reinraum mit RGA-Kammer
Komponenten für UHV- bzw. XHV- Anlagen, wie sie z.B. bei der Halbleiterindustrie, in Teilchenbeschleunigern und Weltraumsimulationen zur Anwendung kommen, erfordern besondere Qualitätskontrollen. PINK hat hierfür ein neues, in den Reinraum integriertes Ultrahoch-Vakuumsystem entwickelt. Mit dem in der Anlage eingebauten hochempfindlichen Quadrupol-Massenspektrometer bzw. Restgasanalysator (RGA) können einzelne Massen von 0 - 512 amu automatisch gemessen und dokumentiert werden. Zudem können auch Desorptionsratenmessungen durchgeführt und bewertet werden.
Durch Ausheizen der Kammer bis 110 °C wird ein Basisdruck von ≤ 5 x 10-9 mbar erreicht. Auf Wunsch können auch Bauteile unter Inertgas bis 110 °C ausgeheizt werden. Dieser zusätzliche Reinigungsschritt ermöglicht eine Reduktion der Desorptionsrate der Bauteile.
In der nächsten Ausbaustufe der Analysekammer ist zusätzlich die Integration einer Plasmareinigung geplant. Mit diesem neuen Reinraumkonzept setzt PINK Maßstäbe in der Reinigung und Qualifizierung.
Eine Besonderheit dieses Reinraums ist die integrierte, mantelbeheizte UHV-Restgasanalysekammer mit Abmessungen von Ø 1,8 m x 2,7 m und einem Volumen von 7,7 m3.